1、臭氧：常温常压下是一种淡蓝色腥臭味的气体，分子式为O3，具有极强的氧化能力与杀菌性能。
2、臭氧产量：即臭氧的产率，以小时为单位臭氧的发生量。计量单位：mg/h、g/h、kg/h。浓度×流量≈产量。
3、臭氧浓度：单位体积内臭氧的含量。计量单位：mg/L，mg/m3，ppm。
4、水溶臭氧浓度：臭氧溶于水中，单位体积的臭氧含量。计量单位：mg/L、ppm。
5、空气应用臭氧浓度：用于空气消毒的臭氧浓度，一般在1～10mg/m3。
6、环境臭氧浓度：环境空气中所含有的臭氧浓度，环境质量标准规定的一二三级环境质量标准分别为0.12/0.16/0.2mg/m3。
7、电耗：不包含空气处理系统的情况下，臭氧发生器主机每产生1kg臭氧的耗电量。（该单位为评价臭氧发生器性能的指标，不同于设备的功率）。计量单位：kw·h/kgO3。
8、投加量：一定单位的液体或气体所投加臭氧的量。计量单位：g/m3、g/T。
9、单位放电面积的产量：放电介质单位面积内所产生的臭氧量，该指标为评价放电介质性能的指标。计量单位：g/m3。
10、露点：为空气干燥度的指标，空气在多少温度下开始出现结露现象。计量单位：℃。
11、进气流量：每小时进入臭氧发生器放电室中原料气体量。计量单位：m3/h。
12、出气流量：从发生器放电室中每小时排出臭氧化混合气体的流量。计量单位：m3/h。
13、进气压力：进入臭氧发生器放电室的原料气体的压力。计量单位：MPa。
14、光化学产生臭氧法：利用紫外光使氧气分子分解并聚合生成臭氧的方法。
15、电化学产生臭氧法：利用直流电源电解含氧电解质产生臭氧的方法。
16、电晕放电法：利用交变高压电场使含氧气体产生电晕放电，电晕中的高能自由电子离解氧分子并聚合生成臭氧分子的方法。
17、气隙放电法：电晕放电的一种，其放电区发生在介质层与高压电极或低压电极之间的区域。
18、沿面放电法：电晕放电的一种，其放电区域发生在高压电极边缘。
19、DTA放电体：一搪瓷为主要电介质的臭氧放电体，具有产量高，浓度高的特点。
20、电极：与具有不同电导率的媒质形成导电交接面的导电部分，在臭氧发生单元中指分布高压电场的导电体。
21、介质管（板）：基本电磁场性能是受电场作用而极化的物质所构成的零部件，在臭氧发生单元中系指位于两极之间，造成稳定的辉光放电的绝缘体。
22、介质强度：介质材料能承受而不致遭到破坏的最高电场强度。
23、辉光放电：当电场强度超过某值时，以发光表现出来的气体中电传导现象。
24、臭氧发生单元：组成产生臭氧的最基本元件，如以电晕气隙放电的臭氧发生单元为高压电极、地电极、介质、气隙。
25、管式臭氧发生单元：辉光放电元件以同心圆安置的臭氧发生单元。
26、板式臭氧发生单元：辉光放电元件以平行板安置的臭氧发生单元。